什么是晶圓?
硅(gui)是由沙子所(suo)精練(lian)出(chu)來的,晶(jing)(jing)圓(yuan)是硅(gui)元(yuan)素加以(yi)純化(99.999%),接著是將這(zhe)些純硅(gui)制(zhi)成(cheng)長硅(gui)晶(jing)(jing)棒,成(cheng)為制(zhi)造積(ji)體(ti)電(dian)(dian)路的石英半導(dao)體(ti)的材料(liao),經過(guo)照相制(zhi)版,研磨,拋(pao)光,切片(pian)等程序,將多(duo)(duo)晶(jing)(jing)硅(gui)融解拉出(chu)單晶(jing)(jing)硅(gui)晶(jing)(jing)棒,然后切割成(cheng)一片(pian)一片(pian)薄薄的晶(jing)(jing)圓(yuan)。我們會聽(ting)到幾寸(cun)(cun)的晶(jing)(jing)圓(yuan)廠,如果硅(gui)晶(jing)(jing)圓(yuan)的直徑越大(da),代表(biao)著這(zhe)座晶(jing)(jing)圓(yuan)廠有(you)(you)(you)較好的技(ji)術。另(ling)外還有(you)(you)(you)scaling技(ji)術可以(yi)將電(dian)(dian)晶(jing)(jing)體(ti)與導(dao)線的尺寸(cun)(cun)縮小,這(zhe)兩種方式都可以(yi)在一片(pian)晶(jing)(jing)圓(yuan)上,制(zhi)作(zuo)出(chu)更多(duo)(duo)的硅(gui)晶(jing)(jing)粒,提高品(pin)質與降低成(cheng)本。所(suo)以(yi)這(zhe)代表(biao)6寸(cun)(cun)、8寸(cun)(cun)、12寸(cun)(cun)晶(jing)(jing)圓(yuan)當中,12寸(cun)(cun)晶(jing)(jing)圓(yuan)有(you)(you)(you)較高的產能。當然,生產晶(jing)(jing)圓(yuan)的過(guo)程當中,良品(pin)率是很(hen)重要(yao)的條件。
晶(jing)(jing)圓是指硅半導體積體電路制(zhi)作所用的(de)硅晶(jing)(jing)片(pian),由(you)于其形(xing)(xing)狀為(wei)(wei)(wei)圓形(xing)(xing),故稱(cheng)為(wei)(wei)(wei)晶(jing)(jing)圓;在硅晶(jing)(jing)片(pian)上可加工(gong)制(zhi)作成(cheng)各(ge)種電路元(yuan)件結構,而成(cheng)為(wei)(wei)(wei)有特定電性功能的(de)IC產品。
晶(jing)(jing)(jing)圓的(de)(de)(de)原始材料是硅,而地(di)殼(ke)表面有用之(zhi)不(bu)竭的(de)(de)(de)二氧化(hua)硅。二氧化(hua)硅礦石經(jing)由電(dian)(dian)弧爐提煉,鹽(yan)酸氯化(hua),并經(jing)蒸餾后(hou),制成了高(gao)純(chun)度的(de)(de)(de)多晶(jing)(jing)(jing)硅,其純(chun)度高(gao)達0.99999999999。晶(jing)(jing)(jing)圓制造廠再將此(ci)多晶(jing)(jing)(jing)硅融(rong)解(jie),再于(yu)融(rong)液內摻(chan)入一小粒的(de)(de)(de)硅晶(jing)(jing)(jing)體晶(jing)(jing)(jing)種,然后(hou)將其慢慢拉(la)出,以形成圓柱(zhu)狀的(de)(de)(de)單晶(jing)(jing)(jing)硅晶(jing)(jing)(jing)棒(bang),由于(yu)硅晶(jing)(jing)(jing)棒(bang)是由一顆小晶(jing)(jing)(jing)粒在熔融(rong)態的(de)(de)(de)硅原料中逐漸(jian)生成,此(ci)過(guo)程稱為(wei)“長晶(jing)(jing)(jing)”。硅晶(jing)(jing)(jing)棒(bang)再經(jing)過(guo)研磨,拋光,切片(pian)后(hou),即成為(wei)積體電(dian)(dian)路工(gong)廠的(de)(de)(de)基本(ben)原料——硅晶(jing)(jing)(jing)圓片(pian),這就是“晶(jing)(jing)(jing)圓”。